Renishaw激光干涉儀

　　激光干涉儀的基本配置可以完成數(shù)控機(jī)床三軸的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量和補(bǔ)償。

　　增加相應(yīng)的測(cè)量鏡組，可以完成數(shù)控機(jī)床三軸的水平和垂直方向的偏擺和俯仰角度測(cè)量，還可以完成平面度、直線(xiàn)度、垂直度的測(cè)量。增加回轉(zhuǎn)軸組件RX10，可以實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)軸(A,B.,C軸)的分度精度測(cè)量和補(bǔ)償。

線(xiàn)性測(cè)量精度 ±0.5ppm

線(xiàn)性分辨率 1nm

最高移動(dòng)速度 4m/s

更新環(huán)境補(bǔ)償?shù)臅r(shí)間 7s

動(dòng)態(tài)采集頻率 50KHZ

線(xiàn)性測(cè)量距離為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定 80m

預(yù)熱時(shí)間 <6分鐘

環(huán)境溫度 0-40℃